Wir stellen uns vor: RWTH Aachen TOS
Der Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme (TOS) an der RWTH Aachen University erforscht schwerpunktmäßig Optische Systeme, Freiformoptiken und die EUV-Technologie.
So forscht die Gruppe Optische Systeme etwa an neuen Montageverfahren für kompakte optische Systeme, fertigungs- und montagegerechtem Design, Simulation thermischer Einflüsse sowie der Integration von Aktorik und Sensorik zur Steuerung und Regelung von Optiken.
Die Gruppe Freiformoptiken entwickelt für Kunden aus Forschung und Industrie maßgeschneiderte Freiformoptiken für nicht-abbildende Anwendungen. Zusammen mit ansässigen Fertigungsunternehmen realisiert der Lehrstuhl virtuelle Prototypen mit fertigungsangepasster Auslegung bis hin zur Charakterisierung von hergestellten Optiken.
Die Gruppe EUV-Technologie befasst sich mit der hochauflösenden EUV-Lithografie, der Bildgebung und Inspektion sowie der Wechselwirkung von EUV-Strahlung mit Oberflächen.